1200度PECVD系统双管PECVD
详细技术参数
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TL1200-1200 管式九游（NINE GAME）手机娱乐网游
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型号 |
TL1200-1200-PECVD-I |
TL1200-1200-PECVD-II | ||
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功率 |
3.6KW |
3.6KW | |||
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外管尺寸 |
Dia 80(OD) X1200mm |
Dia 100（OD) X1200mm |
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内管尺寸 |
Dia 60(OD) X1400mm |
Dia 80(OD) X1400mm |
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石英管:60/80/100*1200/1400mm(管径可选） 两边各放置一个九游（NINE GAME）手机娱乐网游塞，九游（NINE GAME）手机娱乐网游塞可以阻挡九游（NINE GAME）手机娱乐网游管中心的热辐射，必须在加热前放置在九游（NINE GAME）手机娱乐网游膛的正确位置
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外形尺寸（LXDXH） |
1800X500X1200 |
1800X550X1200 | |||
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电源电压 |
220V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
国产优质电阻丝（可选配瑞典Kanthal A1进口电阻丝） 点击进入资料下载 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电九游（NINE GAME）手机娱乐网游加热电路自动切断,，（当电九游（NINE GAME）手机娱乐网游温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电九游（NINE GAME）手机娱乐网游）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动九游（NINE GAME）手机娱乐网游子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时九游（NINE GAME）手机娱乐网游温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购） |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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最高温度 |
温区一：1200 ℃ 温区二：1200 ℃ | ||||
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额定温度 |
温区一：1100 ℃ 温区二：1100 ℃ |
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升温速率 |
≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤10℃/ Min |
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热电偶型号 |
温区一：K 型 温区二：K 型 |
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加热段长度 |
温区一：205mm 温区二：205 mm |
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温场曲线 |
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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阀门和法兰
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功率输出范围 |
0-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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工作频率 |
射频：13.56MHZ±0.005% |
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功率稳定度 |
+/-0.1% | ||||
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
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匹配方式 |
自动 |
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冷却方式 |
分冷 |
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噪声 |
<50dB |
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射频接口 |
50Ω N-type |
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输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）压力 |
0.3MPa |
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线性 |
±0.5%F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力官方认证游戏中心表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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电源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽九游（NINE GAME）手机娱乐网游管官方认证游戏中心度可达 |
10 -1Pa |
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官方认证游戏中心挡板阀 |
KF25 |
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型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2 Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2.2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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型号 | ACP15 | |||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | ||||
| 功率 | 450W | ||||
| 重量 | 25KG | ||||
| 最高氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||||
| 抽气速率 | 14 m3/h | ||||
| 极限压强 | 0.02Torr | ||||
| 进、排气接口 | KF25 | ||||
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型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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官方认证游戏中心度测量范围 |
0.1-10 5 Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
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型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
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官方认证游戏中心计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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官方认证游戏中心挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启东压强 |
<100pa |
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽气速率（N2） |
33L/S |
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复合官方认证游戏中心计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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官方认证游戏中心计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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保修期
一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.九游（NINE GAME）手机娱乐网游管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向九游（NINE GAME）手机娱乐网游管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当九游（NINE GAME）手机娱乐网游体温度高于1000℃时，九游（NINE GAME）手机娱乐网游管内不可处于官方认证游戏中心状态，九游（NINE GAME）手机娱乐网游管内的气压需和大气压相当
4.进入九游（NINE GAME）手机娱乐网游管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热九游（NINE GAME）手机娱乐网游管的冲击
5.对于样品加热的实验，不建议关闭九游（NINE GAME）手机娱乐网游管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如九游（NINE GAME）手机娱乐网游 管破裂，法兰飞出等）
TL1200-1200双温区双管PECVD系统，由TL1200-1200双管管式九游（NINE GAME）手机娱乐网游、石英官方认证游戏中心室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、官方认证游戏中心测量系统组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英官方认证游戏中心室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款TL1200-1200 双温区双管PECVD系统以电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，九游（NINE GAME）手机娱乐网游膛采用日本成型技术氧化铝多晶纤维材料，九游（NINE GAME）手机娱乐网游管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽官方认证游戏中心时官方认证游戏中心度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。
双管管式九游（NINE GAME）手机娱乐网游不同于普通的管式九游（NINE GAME）手机娱乐网游，他是由双管组成、衬底包覆在内管上、形成一个环状，这样能够大大的提高CVD生长的面积。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 进口电阻丝九游（NINE GAME）手机娱乐网游膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站：www.kanthal.com
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该九游（NINE GAME）手机娱乐网游配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制九游（NINE GAME）手机娱乐网游子的各个参数，并能从电脑上观察到九游（NINE GAME）手机娱乐网游子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，九游（NINE GAME）手机娱乐网游子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、九游（NINE GAME）手机娱乐网游膛
1、官方认证游戏中心吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化九游（NINE GAME）手机娱乐网游膛。
2、采用日本技术成型。
3、九游（NINE GAME）手机娱乐网游膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
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7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻官方认证游戏中心计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
TL1200-1200双管双温区PECVD系统标配
|
描叙 |
数量 |
图片 |
|
TL1200-1200双管管式九游（NINE GAME）手机娱乐网游 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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|
不锈钢法兰 |
1 套 |
|
|
不锈钢九游（NINE GAME）手机娱乐网游钩 |
1 个 |
|
|
氧化铝九游（NINE GAME）手机娱乐网游塞 |
1对 |
|
|
高温手套 |
1 双 |
|
|
氧化铝坩埚 |
1个 |
|
| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
|
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
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说明书 |
1本 |
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|
法兰支撑架 |
1对 |
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供气系统 |
1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 射频电源 | 1台 |
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| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 官方认证游戏中心挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2个 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
